冷卻劑用于在晶圓蝕刻過程中吸收室內(nèi)的熱量。根據(jù)芯片制造商控制溫度的方式，使用不同的冷卻劑。

　　冰箱中使用的冷卻劑是主要的冷卻產(chǎn)品，因為它們相對節(jié)能并且可以在很寬的范圍內(nèi)控制溫度。

　　但最近各國采取更嚴(yán)格的法規(guī)來保護環(huán)境舉措引起了人們對使用冷卻劑的擔(dān)憂，因為冷卻劑可能成為污染物。

　　美國 3M 公司以高達(dá) 90% 的市場份額在芯片冷卻劑市場占據(jù)主導(dǎo)地位；第二大生產(chǎn)商是比利時公司 Solvay。

　　去年 3 月，比利時政府命令 3M 停止其在佛蘭德斯的冷卻劑工廠的運營，因為它未能達(dá)到提高的 PFAS 排放標(biāo)準(zhǔn)。PFAS，即全氟烷基和多氟烷基物質(zhì)，用于制造冷卻劑，已知對環(huán)境有害。

　　最初，3M 試圖找到一種使用更少 PFAS 的解決方案，但在去年年底 3M 宣布將在 2025 年底之前完全停止生產(chǎn) PFAS。

　　迄今為止，韓國芯片制造商三星和 SK 海力士一直嚴(yán)重依賴 3M 的冷卻劑供應(yīng)來生產(chǎn)芯片。

　　消息人士稱，預(yù)計他們會找到替代解決方案，例如使用比冰箱類冷水機使用更少冷卻劑的電動冷水機。

　　他們補充說，還將考慮采用完全取消冷卻劑的氣體冷卻物質(zhì)。